Comparative study of AlN dielectric films’ electrical properties for MEMS capacitive switches

 
δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*
κοινοποιήστε το τεκμήριο





Comparative study of AlN dielectric films’ electrical properties for MEMS capacitive switches

Georgakilas, A.
Konstantinidis, G.
Papaioannou, G.
Michalas, L.
Papandreou, E.
Stavrinidis, G.
Koutsoureli, M.
Adikimenakis, A.

Text (Abstract presentation)
Text

φυσικές επιστήμες
ηλεκτρονική
ηλεκτρική ενέργεια
ηλεκτρολογικό υλικό


Αγγλική γλώσσα

2012


MICRO & NANO 12ABSTRACT




*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.