Ανάπτυξη οξειδίου του πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος και ηλεκτρικός χαρακτηρισμός του

 
δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*
κοινοποιήστε το τεκμήριο




2014 (EL)
Ανάπτυξη οξειδίου του πυριτίου σε αντιδραστήρα πλάσματος και ηλεκτρικός χαρακτηρισμός του

Βλαχοπούλου Μαρία-Έλενα

Παναγιώτης Δημητράκης Δρ. Φυσικός (συνεπιβλέπων)
Δημήτρης Τσουκαλάς Καθηγητής ΕΜΠ (επιβλέπων)
Αγγελική Τσερέπη Ερευνήτρια Α΄ ΕΚΕΦΕ Δημόκ

Διπλωματική εργασία (Εκπονήθηκε το έτος: 2014)

Αντιδραστήρας πλάσματος υψηλής πυκνότητας
Οξείδιο του πυριτίου
Τρανζίστορ MOS
Ηλεκτρικός χαρακτηρισμός
Πυκνωτής MOS
High density plasma
Silicon dioxide

Εθνικό και Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών (EL)
University of Athens (EN)

Ελληνική γλώσσα

2014


National and Kapodistrian University of Athens (UOA)

All rights remain with the author, until they expire.
Access to the work is permitted for personal, educational or research use only.



*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.