Simulation of surface charging during plasma etching of dielectric microstructures

 
This item is provided by the institution :

Repository :
Digital Library of Grey Literature
see the original item page
in the repository's web site and access all digital files if the item*
share




2014 (EN)
Simulation of surface charging during plasma etching of dielectric microstructures

Μέμος Γεώργιος

Καθηγήτρια ΕΚΠΑ
Συνεργαζόμενος ερευνητής ΕΚΕΦΕ ''Δημόκριτος'' (επιβλέπων)
Ευάγγελος Γογγολίδης
Αγγελική Αραπογιάννη
Γεώργιος Κόκκορης

Διπλωματική εργασία (Εκπονήθηκε το έτος: 2014)

Plasma
Surface Charging
Charged Particles trajectories
Εγχάραξη μικροδομών
Τροχιές φορτισμένων σωματιδίων
Πλάσμα
Διηλεκτρική μικροδομή
Επιφανειακή φόρτιση

Εθνικό και Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών (EL)
University of Athens (EN)

English

2014


National and Kapodistrian University of Athens (UOA)

All rights remain with the author, until they expire.
Access to the work is permitted for personal, educational or research use only.



*Institutions are responsible for keeping their URLs functional (digital file, item page in repository site)