Ανάπτυξη συστήματος χημικής εναπόθεσης μέσω ατμών και εναπόθεση επιστρώσεων οξειδίων βαναδίου για εφαρμογές σε έξυπνα παράθυρα
Παπαδάκης, Γεώργιος Στ.
Κατσαράκης, Νικόλαος
Μιχαλόπουλος, Νικόλαος
Στο πλαίσιο του Μεταπτυχιακού Προγράμματος Ειδίκευσης «Τεχνολογίες Προστασίας Περιβάλλοντος» έγινε η διατριβή με τίτλο «Ανάπτυξη συστήματος εναπόθεσης μέσω ατμών και εναπόθεση επιστρώσεων οξειδίων βαναδίου για χρήση σε έξυπνα παράθυρα».
Σε αυτή την διατριβή κατασκευάστηκε ένα σύστημα εναπόθεσης μέσω ατμών σε ατμοσφαιρική πίεση. Έγιναν εναποθέσεις δύο σειρών δειγμάτων για τις δοκιμές του συστήματος με χρήση των αντιδρώντων VCl4 και H2O. Η μία σειρά με σταθερή θερμοκρασία υποστρώματος προκειμένου να ελεγχτεί το σύστημα για την δυνατότητα σωστής ρύθμισης των ροών καθώς και για να προκύψουν διαφορετικές αναλογίες. Η δεύτερη σειρά έγινε με σταθερές ροές και διαφορετικές θερμοκρασίες υποστρώματος για να ελεγχθούν οι σταθερότητα των θερμοκρασιών καθώς και η αντοχή του συστήματος.
Παρουσιάστηκαν διάφορα προβλήματα κατά την διάρκεια της κατασκευής και της λειτουργίας του συστήματος και περιγράφονται οι λύσεις για την επίλυση τους.
Μετά την δημιουργία των δειγμάτων ακολούθησε ο χαρακτηρισμός τους με διάφορες τεχνικές, οι οποίες επιβεβαίωσαν ότι έχουν ηλεκτροχημικές ιδιότητες οι οποίες θα μπορούσαν να έχουν χρήση για εφαρμογές σε «έξυπνα παράθυρα».
(EL)
