Oxidation of hydrogenated crystalline silicon as an alternative approach for ultrathin SiO2 growth

 
δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*
κοινοποιήστε το τεκμήριο



Oxidation of hydrogenated crystalline silicon as an alternative approach for ultrathin SiO2 growth

Alexandrova, S.
Kompitsas, Michael G.
Lytvyn, P.

Article


Αγγλική γλώσσα

2012-06-12T12:16:55Z
2008-12-10T14:22:24Z
2008-03-17T08:38:16Z
2005

DOI: http://dx.doi.org/10.1088/1742-6596/10/1/062

Ινστιτούτο Θεωρητικής και Φυσικής Χημείας (ΙΘΦΧ)
Τύποι Τεκμηρίων
Άρθρο σε περιοδικό
Συλλογές του Ήλιος



*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.