Polymer based chemical sensor array fabricated with conventional microelectronic processes

 
Το τεκμήριο παρέχεται από τον φορέα :
ΤΕΙ Αθήνας
Αποθετήριο :
Υπατία - Ιδρυματικό Αποθετήριο
δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*
κοινοποιήστε το τεκμήριο



Polymer based chemical sensor array fabricated with conventional microelectronic processes (EN)

Βαλαμόντες, Ευάγγελος Σ. (EL)
Μπέλτσιος, Κωνσταντίνος Γ. (EL)
Γουστουρίδης, Δημήτριος (EL)
Κιτσαρά, Μαρία (EL)
Οικονόμου, Πέτρος (EL)

Ράπτης, Ιωάννης Α. (EL)
N/A (EN)

A polymer array fabricated on the same substrate with conventional microelectronic processes is introduced for gas sensing applications. The process is based on photolithographic processes and takes advantage of the balance between UV exposure dose, material tone and developers used. The sensing properties of the lithographically defined films in the array were characterized for various analytes through in situ monitoring of films swelling by white light reflectance spectroscopy. The sensing responses are post processed by Principal Component Analysis and the discrimination between analytes with similar and totally different analytes is presented. (EN)

journalArticle

Chemical sensors (EN)
Polymer swelling (EN)
Χημικοί αισθητήρες (EN)
Φωτολιθογραφία (EN)
Απόθεση πολυμερούς (EN)
Προσρόφηση ατμών (EN)
Vapor sorption (EN)
Photolithography (EN)
Polymer deposition (EN)
Πολυμερές οίδημα (EN)

ΤΕΙ Αθήνας (EL)
Technological Educational Institute of Athens (EN)

Journal of Optoelectronics and Advanced Materials (EN)

Αγγλική γλώσσα

2010-05


N/A (EN)



*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.