Characterization of light emitting silicon nanopillars produced by lithography and etching

 
Το τεκμήριο παρέχεται από τον φορέα :

Αποθετήριο :
Ψηφιακό Αποθετήριο της Κεντρικής Βιβλιοθήκης του ΕΜΠ | Dspace@NTUA
δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*
κοινοποιήστε το τεκμήριο



Σημασιολογικός εμπλουτισμός από το EKT
Τμήμα περιοδικού (EL)
Επιστημονικό άρθρο (EL)
1996 (EL)
Characterization of light emitting silicon nanopillars produced by lithography and etching (EN)
Travlos, A (EN)
Kennou, S (EN)
Ladas, S (EN)
Grigoropoulos, S (EN)
Nassiopoulos, AG (EN)
Papadimitriou, D (EN)
Silicon nanopillars were produced by using deep-UV lithography, fluorine based highly anisotropic silicon etching and further thinning by high temperature thermal or chemical oxidation and oxide removal. The obtained structures were fully characterized by scanning and transmission electron microscopy, electron diffraction, atomic force microscopy and X-ray photoelectron spectroscopy. It was verified that the obtained nanopillars by the above process are of perfect crystallinity, the bottom silicon surface on which they lie is very smooth and that minor surface contamination by carbon or oxygen is present on both the bottom silicon surface and the surface surrounding the nanopillars. The obtained luminescence peak is in the red-green spectral region. (EN)
journalArticle (EN)
Atomic force microscopy (EN)
Crystal impurities (EN)
Electron diffraction (EN)
Semiconductor device structures (EN)
Physics, Condensed Matter (EN)
Etching (EN)
Electron Diffraction (EN)
X Ray Photoelectron Spectroscopy (EN)
Surface structure (EN)
Luminescence of inorganic solids (EN)
Luminescence peak (EN)
Semiconducting silicon (EN)
Scanning electron microscopy (EN)
Fluorine-based highly anisotropic silicon etching (EN)
Lithography (EN)
Deep ultrahigh vacuum lithography (EN)
Atomic Force Microscopy (EN)
Chemistry, Physical (EN)
Physics, Applied (EN)
High Temperature (EN)
Transmission electron microscopy (EN)
Materials Science, Coatings & Films (EN)
X ray photoelectron spectroscopy (EN)
Red green spectral region (EN)
Transmission Electron Microscopy (EN)
Nanotechnology (EN)
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο
Ψηφιακό Αποθετήριο της Κεντρικής Βιβλιοθήκης του ΕΜΠ | Dspace@NTUA
Κεντρική Βιβλιοθήκη Ε.Μ.Π.
Ιδρυματικό Αποθετήριο
Δημοσιεύσεις μελών Δ.Ε.Π. σε περιοδικά
Applied Surface Science (EN)
Αγγλική γλώσσα
1996 (EN)
http://hdl.handle.net/123456789/11809
0169-4332 (EN)
102 (EN)
377 (EN)
ISI:A1996VJ86100076 (EN)
10.1016/0169-4332(96)00081-5 (EN)
380 (EN)
ELSEVIER SCIENCE BV (EN)



*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.