Comparative study of various metal-oxide-based gas-sensor architectures

δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*
κοινοποιήστε το τεκμήριο

Comparative study of various metal-oxide-based gas-sensor architectures (EN)

Papadopoulos, CA (EN)
Avaritsiotis, JN (EN)
Vlachos, DS (EN)

N/A (EN)

Reactively sputtered SnOx and InOx thin films, plain and surface doped with Pt, have been covered with layers of various insulating films and catalysts. Test gases used are carbon monoxide, methane, ethanol, butane and propane. Filters used are alumina (Al2O3), silicon oxide (SiO2) and tungsten trioxide (WO3). Palladium has also been added on the surface of alumina filters, while platinum is added on the surface of metal-oxide sensor films. Response to hydrocarbons, and especially to butane and propane is found to be enhanced with the addition of noble metals on the sensing film or on the filter. It is also found that a WO3 filter improves the carbon monoxide sensitivity at low working temperatures and reduces the sensor response to ethanol with respect to other test gases. The behaviour of indium-oxide-based sensors is qualitatively very similar to that of tin-oxide-based sensors. (EN)


Metal oxides (EN)
Thin films (EN)
Tin compounds (EN)
Platinum (EN)
Doping (additives) (EN)
Sensing films (EN)
Oxides (EN)
Indium compounds (EN)
Sputter deposition (EN)
Gas sensors (EN)

Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (EL)
National Technical University of Athens (EN)

Sensors and Actuators, B: Chemical (EN)



*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.