1. Αρχική σελίδα
  2. Αναζήτηση

Comparison of back-foil SXRF and EPMA for the elemental characterization of thin coatings

Το τεκμήριο παρέχεται από τον φορέα :
ΤΕΙ Αθήνας   

Αποθετήριο :
Υπατία - Ιδρυματικό Αποθετήριο   

δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*



Comparison of back-foil SXRF and EPMA for the elemental characterization of thin coatings (EN)
Σταθαράς, Ιωάννης Χ. (EL)
Βαλαμόντες, Ευάγγελος Σ. (EL)
journalArticle
2015-05-18T18:05:38Z
2015-05-18
2005-03-11
Vacuum (EN)
7th International Conference on Electron Beam Technologies. Varna, Bulgaria. 2-5 June, 2003. Code 64318 (EN)
Back-foil scanning X-ray microfluorescence (SXRF), developed in a scanning electron microscope and applied for the analysis of very thin coatings is compared with electron probe X-ray microanalysis (EPMA). Both experimental results and Monte-Carlo calculations are used in this respect. The signal to background ratio as a function of the primary electron beam energy and angle of incidence, and for different film thicknesses is obtained for both techniques and a comparative study of sensitivity is made. Back-foil SXRF used in optimized experimental conditions, is found to be more sensitive than EPMA, especially in the case of very thin overlayers. The resolving power of back-foil SXRF is also calculated for the anode used by Monte-Carlo simulations. (EN)
Electrical engineering
**N/A**-Τεχνολογία
Λεπτές ταινίες
Μικροανάλυση ακτίνων Χ
http://zbw.eu/stw/descriptor/18426-4
X-ray microanalysis
Τεχνολογία
http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85148737
Thin films
**N/A**-Ηλεκτρολογία Μηχανολογία
Ηλεκτρολογία Μηχανολογία
X-ray microfluorescence
Technology
http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85133147
Elsevier (EN)
http://www.elsevier.com
Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/
campus
ΤΕΙ Αθήνας
Υπατία - Ιδρυματικό Αποθετήριο
Δημοσιεύσεις



*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.