Πειραματική μελέτη ροής αραιοποιημένων αερίων (Rarefied Gases), σε διάταξη μικροαγωγών

Πειραματική μελέτη ροής αραιοποιημένων αερίων (Rarefied Gases), σε διάταξη μικροαγωγών

URI: https://www.openarchives.gr/aggregator-openarchives/edm/ntua/000011-123456789_2955
RDF/XML JSON-LD

This item is provided by the institution :
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο

Repository :
Ψηφιακό Αποθετήριο της Κεντρικής Βιβλιοθήκης του ΕΜΠ | Dspace@NTUA

see the original item page
in the repository's web site and access all digital files if the item^*

Title

Πειραματική μελέτη ροής αραιοποιημένων αερίων (Rarefied Gases), σε διάταξη μικροαγωγών (EL)

Experimental flow study of rarefied gases in microchannels (EN)

Creator

Μακρομάλλης, Κυριάκος Α. (EL)

Makromallis, Kyriakos Α. (EN)

Contributor

Μαθιουλάκης, Δημήτριος (EL)

Βουτσινάς, Σπυρίδων (EL)

Τσαγγάρης, Σωκράτης (EL)

Type

bachelorThesis

Διπλωματική εργασία
Bachelor thesis (EN)

Issued

2009-06-21

2009-06-24

2009-06-15

2009-07-21T09:05:29Z

2009-05-24

2009-07-21

Year

2009 (EL)

Description

210 σ. (EL)

Στην παρούσα εργασία παρουσιάζεται μια περαματική μελέτη της ροής αραιοποιημένων αερίων σε διάταξη μικροαγωγών. Τα αέρια που χρησιμοποιούνται είναι το Αργό, το Ήλιο και ο αέρας, η ροή των οποίων γίνεται σε μια κατάλληλα διαμορφωμένη διάταξη ώστε οι πιέσεις να είναι ιδιαίτερα χαμηλές (της τάξης των mbar). Πιο συγκεκριμένα, οι μικροαγωγοί έχουν χαρακτεί σε πλάκες πυριτίου, με τη μέθοδο της λιθογραφίας και αντλία νερού ελαττώνει την πίεση εντός των αγωγών σε επιθυμητά επίπεδα. Οι παράμετροι που εξετάστηκαν ήταν το πλάτος των καναλιών, το βάθος τους, το μήκος τους, ο αριθμός των καναλιών, το αέριο και η διαφορά πίεσης μεταξύ εισόδου και εξόδου των καναλιών. Οι μακροσκοπικές ιδιότητες της ροής υπολογίζονται από τις μετρήσεις που λαμβάνονται από τους αισθητήρες πίεσης και θερμοκρασίας, που είναι εγκατεστημένοι στην είσοδο και έξοδο αντίστοιχα. Οι υπολογισμένες αυτές ποσότητες συγκρίνονται με τα αποτελέσματα που δίνουν αναλυτικά μοντέλα προσομοίωσης της ροής. (EL)

Κυριάκος Α. Μακρομάλλης (EL)

An experimental flow investigation of rarefied gases in microchannels is presented in this study. Argon gas, Helium gas and air were used in an appropriate experimental setup, so that low absolute pressurew were obtained (of the order of a few mbars), within a number of parallel microchannels were etched on silicon pieces using lithography and a vacuum pump which reduced the pressure in the microchannels to desired levels. The examined parameters were: the width, the depth, the length, the number of the channels, the type of gas and the pressure difference between the entrance and the exit of the channels. The macroscopic quantities of the flow were calculated based on the measurements that were taken from pressure and temperature sensors. These quantities were compared with the results that computation models provided. (EN)

Scientific field

Φυσικές Επιστήμες ▶ Φυσική
Physics, Fluids and Plasmas (EN)

Subject

Πυριτίο (EL)

Λιθογραφία (EL)

Μικροαγωγοί (EL)

Αραιοποιημένο αέριο (EL)

Αντλία κενού (EL)

Rarefied (EN)

Lithography (EN)

Vacuum pump (EN)

Cilicon (EN)