Εφαρμογές διαγνωστικών μεθόδων πλάσματος στην παραγωγή μικροκρυσταλλικού υδρογονωμένου πυρίτιου

see the original item page
in the repository's web site and access all digital files if the item^*

Title

Application of plasma diagnostic methods in the production of microcrystalline hudrogenated silicon

Creator

Στάμου, Σπυρίδων

Type

PhD Thesis

Διπλωματική εργασία
PhD thesis (EN)

Date

1999

Year

1999 (EL)

Scientific field

Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία ➨ Επιστήμη Χημικού Μηχανικού

Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία
Chemical Engineering (EN)

Subject

Plasma

Spectroscopy

Chemical Engineering

Φασματοσκοπία

Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία

Επιστήμη Χημικού Μηχανικού

Engineering and Technology

Σιλάνιο

Radiofrequencies

Πλάσμα

Ραδιοσυχνότητα

Microcrystalline hudrogenated silicon

Μικροκρυσταλλικό Υδρογονωμένο Πυρίτιο (ΜC-SI:H)

Silane

Language

Greek

Publisher

Πανεπιστήμιο Πατρών

University of Patras

School / Department / Institute

Πανεπιστήμιο Πατρών. Σχολή Πολυτεχνική. Τμήμα Χημικών Μηχανικών. Τομέας Επιστήμης και Τεχνολογίας Υλικών. Εργαστήριο Χημείας Πλάσματος

Provider

Repository / collection

Subcollections

Συλλογή ΕΑΔΔ