Analytical modelling of thermopile based flow sensor and verification with experimental results

 
Το τεκμήριο παρέχεται από τον φορέα :
ΤΕΙ Αθήνας
Αποθετήριο :
Υπατία - Ιδρυματικό Αποθετήριο
δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*
κοινοποιήστε το τεκμήριο



Analytical modelling of thermopile based flow sensor and verification with experimental results (EN)

Πετρόπουλος, Αναστάσιος (EL)
Καλτσάς, Γρηγόριος (EL)
Lazić, Žarko (EN)
Djurić, Zoran (EN)
Randjelović, Danijela V. (EN)

Τ.Ε.Ι. Αθήνας. Σχολή Τεχνολογικών Εφαρμογών. Τμήμα Ηλεκτρονικών Μηχανικών Τ.Ε. (EL)
Popović, Mirjana (EN)

A novel, simple approach for analytical modelling of thermal flow sensors has been implemented. It is based on unification of results obtained using the already developed two-zone analytical model and theory of laminar fluid flow over uniformly heated plate. This model can be used in order to extract the main parameters for various geometrical configurations of thermal flow sensors. Presented analytical model was further verified by experimental results. Flow tests were performed using multipurpose MEMS flow sensors consisting of two thermopiles, with 30 p+Si/Al thermocouples each, and a “U” shaped p+Si heater. Thermally isolating membrane was formed of sputtered SiO2 and residual n-Si layer. Experimental evaluation was performed under various flow conditions and applied heating power values. The results showed excellent agreement with theoretical predictions. (EN)

journalArticle

Thermopile (EN)
Θερμοπύλες (EN)
Αισθητήρας ροής (EN)
Flow sensor (EN)

ΤΕΙ Αθήνας (EL)
Technological Educational Institute of Athens (EN)

Microelectronic Engineering (EN)

Αγγλική γλώσσα

2009

doi:10.1016/j.mee.2008.12.004

Elsevier B.V. (EN)



*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.