1. Αρχική σελίδα
  2. Αναζήτηση

Aqueous base developable

Το τεκμήριο παρέχεται από τον φορέα :
ΤΕΙ Αθήνας   

Αποθετήριο :
Υπατία - Ιδρυματικό Αποθετήριο   

δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*



Aqueous base developable (EN)
Σπηλιώτης, Αθανάσιος (EL)
Βαλαμόντες, Ευάγγελος Σ. (EL)
Γουστουρίδης, Δημήτριος (EL)
Χατζηχρηστίδη, Μαργαρίτα (EL)
Rajta, István (EN)
Αργείτης, Παναγιώτης (EL)
Ράπτης, Ιωάννης Α. (EL)
journalArticle
2015-05-17T18:48:19Z
2015-05-17
2008-10
Microsystem Technologies (EN)
A variety of different photo resists are used for the fabrication of polymer and metal high aspect ratio structures. Among them SU-8, a chemically amplified negative tone photoresist is the mostly used. However, after processing the finished resist pattern (SU-8) is hardly removed from the substrate. In the present work the formulation and process optimization of a negative tone chemically amplified photoresist (TADEP) is presented. TADEP resist owns two advantages: the dissolution of the uncrosslinked areas in IC standard aqueous developers and the easy stripping in acetone by the assistance of ultrasonic bath. The TADEP resist is successfully applied for the fabrication of polymer and metal structures, after electroplating and stripping and also in the case of Proton Beam Writing. (EN)
**N/A**-Τεχνολογία
Διάλυση
Αναλογία διαστάσεων
Ακετόνη
Aspect ratio
Electroplating
Βελτιστοποίηση
Dissolution
**N/A**-Μηχανική
Optimization
Τεχνολογία
Engineering
Technology
Ανάκτηση μετάλλων
http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85042445
http://zbw.eu/stw/descriptor/19795-3
Metal recovery
http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85000462
Μηχανική
http://id.loc.gov/authorities/subjects/sh85133147
Acetone
Springer Verlag (EN)
http://link.springer.com/
Αναφορά Δημιουργού-Μη Εμπορική Χρήση-Όχι Παράγωγα Έργα 3.0 Ηνωμένες Πολιτείες
http://creativecommons.org/licenses/by-nc-nd/3.0/us/
campus
ΤΕΙ Αθήνας
Υπατία - Ιδρυματικό Αποθετήριο
Δημοσιεύσεις



*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.