1. Αρχική σελίδα
  2. Αναζήτηση

Theoretical and experimental study of reaction diffusion mechanisms and gel formation in electron beam lithography resists

Το τεκμήριο παρέχεται από τον φορέα :
Εθνικό Κέντρο Τεκμηρίωσης και Ηλεκτρονικού Περιεχομένου (ΕΚΤ)   

Αποθετήριο :
Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών  | ΕΚΤ ΕΑΔΔ   

δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου
στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*



Θεωρητική και πειραματική μελέτη μηχανισμών διάχυσης - αντίδρασης και σχηματισμού αδιάλυτου πλέγματος σε ρητίνες ηλεκτρονικής λιθογραφίας
Theoretical and experimental study of reaction diffusion mechanisms and gel formation in electron beam lithography resists
Πάτσης, Γεώργιος
PhD Thesis
1999
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία ➨ Μηχανική Υλικών
Ρητίνες
Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία
Engineering and Technology
Monte carlo molecular modelling
Lithography
Molecular modeling
Resists
Λιθογραφία
Μοριακή προσομοίωση
Materials Engineering
Μηχανική Υλικών
Ελληνική γλώσσα
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ)
National Technical University of Athens (NTUA)
Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών (ΤΕΜΦΕ)
Εθνικό Κέντρο Τεκμηρίωσης και Ηλεκτρονικού Περιεχομένου (ΕΚΤ)
Εθνικό Αρχείο Διδακτορικών Διατριβών
Συλλογή ΕΑΔΔ



*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.