Theoretical and experimental study of reaction diffusion mechanisms and gel formation in electron beam lithography resists

This item is provided by the institution :
National Documentation Centre (EKT)

see the original item page
in the repository's web site and access all digital files if the item^*

Title

Θεωρητική και πειραματική μελέτη μηχανισμών διάχυσης - αντίδρασης και σχηματισμού αδιάλυτου πλέγματος σε ρητίνες ηλεκτρονικής λιθογραφίας

Creator

Πάτσης, Γεώργιος

Type

PhD Thesis

Thesis
PhD thesis (EN)

Date

1999

Year

1999 (EN)

Scientific field

Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία ➨ Μηχανική Υλικών

Natural Sciences ▶ Mathematics
Applied Mathematics (EN)

Engineering and Technology
Materials Engineering (EN)

Subject

Ρητίνες

Επιστήμες Μηχανικού και Τεχνολογία

Engineering and Technology

Monte carlo molecular modelling

Lithography

Molecular modeling

Resists

Λιθογραφία

Μοριακή προσομοίωση

Materials Engineering

Μηχανική Υλικών

Language

Greek

Publisher

Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ)

National Technical University of Athens (NTUA)

School / Department / Institute

Εθνικό Μετσόβιο Πολυτεχνείο (ΕΜΠ). Τμήμα Εφαρμοσμένων Μαθηματικών και Φυσικών Επιστημών (ΤΕΜΦΕ)

National Technical Univeristy of Athens
School of Applied Mathematical and Physics Science

Provider

Repository / collection

Subcollections

Συλλογή ΕΑΔΔ