1. Home page
  2. Search

Decentralized control of a wafer manufacturing system for semiconductors

This item is provided by the institution :
/aggregator-openarchives/portal/institutions/uoa   

Repository :
Pergamos Digital Library   

see the original item page
in the repository's web site and access all digital files if the item*



Decentralized control of a wafer manufacturing system for semiconductors
Κόλλιας Περικλής (EL)
Kollias Periklis (EN)
born_digital_graduate_thesis
Πτυχιακή Εργασία (EL)
Graduate Thesis (EN)
2025
Στην παρούσα πτυχιακή θα παρουσιαστεί το μοντέλο ενός συστήματος κατεργασίας πλακιδίων ημιαγωγών. Το σύστημα αποτελείται από τέσσερις συστοιχίες συσκευών επεξεργασίας ημιαγωγών και τέσσερις ρομποτικούς βραχίονες (cluster tools). Θα παρουσιαστούν τα μοντέλα όλων των συσκευών του συστήματος με χρήση πεπερασμένων ντετερμινιστικών αυτόματων στο πλαίσιο Ramadge-Wonham. Θα σχεδιαστεί ένα αποκεντρωμένο σχήμα εποπτικού ελέγχου για το παρόν σύστημα. Θα πραγματοποιηθεί η υλοποίηση του προτεινόμενου σχήματος σε γλώσσα Structured Language για χρήση σε προγραμματιζόμενους λογικούς ελεγκτές. (EL)
In the present thesis, the model of a semiconductor wafer processing system will be presented. The system consists of four clusters of semiconductor processing devices and four robotic arms, i.e., four cluster tools. The models of all devices in the system will be presented using finite deterministic automata in the Ramadge-Wonham framework. A decentralized supervisory control scheme will be designed for the system. The proposed scheme will be implemented in Structured Language for use in programmable logic controllers. (EN)
Τεχνολογία – Πληροφορική
Τεχνολογία – Πληροφορική (EL)
Technology - Computer science (EN)
Greek
Σχολή Θετικών Επιστημών » Τμήμα Τεχνολογιών Ψηφιακής Βιομηχανίας
Βιβλιοθήκη και Κέντρο Πληροφόρησης » Βιβλιοθήκη Σχολής Αγροτικής Ανάπτυξης, Διατροφής και Αειφορίας
https://creativecommons.org/licenses/by-nc/4.0/
University of Athens
Pergamos Digital Library
Graduate Thesis



*Institutions are responsible for keeping their URLs functional (digital file, item page in repository site)