δείτε την πρωτότυπη σελίδα τεκμηρίου στον ιστότοπο του αποθετηρίου του φορέα για περισσότερες πληροφορίες και για να δείτε όλα τα ψηφιακά αρχεία του τεκμηρίου*
Decentralized control of a wafer manufacturing system for semiconductors
Στην παρούσα πτυχιακή θα παρουσιαστεί το μοντέλο ενός συστήματος κατεργασίας πλακιδίων ημιαγωγών. Το σύστημα αποτελείται από τέσσερις συστοιχίες συσκευών επεξεργασίας ημιαγωγών και τέσσερις ρομποτικούς βραχίονες (cluster tools). Θα παρουσιαστούν τα μοντέλα όλων των συσκευών του συστήματος με χρήση πεπερασμένων ντετερμινιστικών αυτόματων στο πλαίσιο Ramadge-Wonham. Θα σχεδιαστεί ένα αποκεντρωμένο σχήμα εποπτικού ελέγχου για το παρόν σύστημα. Θα πραγματοποιηθεί η υλοποίηση του προτεινόμενου σχήματος σε γλώσσα Structured Language για χρήση σε προγραμματιζόμενους λογικούς ελεγκτές.
(EL)
In the present thesis, the model of a semiconductor wafer processing system will be presented. The system consists of four clusters of semiconductor processing devices and four robotic arms, i.e., four cluster tools. The models of all devices in the system will be presented using finite deterministic automata in the Ramadge-Wonham framework. A decentralized supervisory control scheme will be designed for the system. The proposed scheme will be implemented in Structured Language for use in programmable logic controllers.
(EN)
*Η εύρυθμη και αδιάλειπτη λειτουργία των διαδικτυακών διευθύνσεων των συλλογών (ψηφιακό αρχείο, καρτέλα τεκμηρίου στο αποθετήριο) είναι αποκλειστική ευθύνη των αντίστοιχων Φορέων περιεχομένου.
Βοηθείστε μας να κάνουμε καλύτερο το OpenArchives.gr.
Εθνικό και Καποδιστριακό Πανεπιστήμιο Αθηνών
